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Pénurie de CO2 : une menace pour les semi-conducteurs ?
On pense souvent que les puces les plus avancées reposent d’abord sur des machines de gravure ultramodernes. Mais leur fabrication dépend aussi de matières premières beaucoup plus discrètes. Parmi elles : du dioxyde de carbone industriel de très haute pureté, issu notamment du raffinage du pétrole et du traitement du gaz naturel.
Dans les salles blanches, ce CO2 sert à nettoyer les équipements, à contrôler certaines réactions chimiques pendant la lithographie et à accompagner la planarisation, une opération qui permet d’aplanir les différentes couches d’une puce. Il peut aussi être utilisé…
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