荏原、先端半導体向け－60℃極低温チラー、水・電力消費3～5割減
「荏原、先端半導体向け－60℃極低温チラー、水・電力消費3～5割減」 産業機械大手の荏原製作所は、同社初となる－60℃の極低温チラー「RJ-TTC型」を出荷開始した。半導体ウエハーの表面から不要部分を取り除くエッチング装置の冷却に用いる。
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「荏原、先端半導体向け－60℃極低温チラー、水・電力消費3～5割減」 産業機械大手の荏原製作所は、同社初となる－60℃の極低温チラー「RJ-TTC型」を出荷開始した。半導体ウエハーの表面から不要部分を取り除くエッチング装置の冷却に用いる。
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